Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
में बचाया:
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | Книга |
| भाषा: | Russian |
| प्रकाशित: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| संस्करण: | 3-е изд., стер. |
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|