Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Edizione: | 3-е изд., стер. |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|