Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Книга |
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| 版: | 3-е изд., стер. |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|