Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Taal: | Russian |
| Gepubliceerd in: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Editie: | 3-е изд., стер. |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|