Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 語言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| 版: | 3-е изд., стер. |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|