Электроны и ионы в электронике учеб. пособие
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нанообъектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства с...
Gardado en:
Autor Principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Idioma: | Russian |
Publicado: |
Иркутск
ИРНИТУ
2021
|
Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/325334 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325334.jpg |
Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|