Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Gespeichert in:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Beschreibung: | 28 с. |
| Zielpublikum: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliographie: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |