Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
שמור ב:
| פורמט: | Книга |
|---|---|
| שפה: | Russian |
| יצא לאור: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| גישה מקוונת: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
| סיכום: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| תיאור פיזי: | 28 с. |
| קהל: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| ביבליוגרפיה: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |