Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Zapisane w:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Język: | Russian |
| Wydane: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Dostęp online: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
| Streszczenie: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Opis fizyczny: | 28 с. |
| Publiczność: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografia: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |