Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Sparad:
| Materialtyp: | Книга |
|---|---|
| Språk: | Russian |
| Publicerad: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Länkar: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Sammanfattning: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. |
|---|---|
| Fysisk beskrivning: | 28 с. |
| Publik: | Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografi: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |