Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов Ч. 1 Плазмохимическое травление материалов электронной техники : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Збережено в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
