Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов Ч. 2 Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Gorde:
| Formatua: | Книга |
|---|---|
| Hizkuntza: | Russian |
| Argitaratua: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Sarrera elektronikoa: | https://e.lanbook.com/book/357419 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357419.jpg |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|