Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов Ч. 2 Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров....
Salvato in:
| Natura: | Книга |
|---|---|
| Lingua: | Russian |
| Pubblicazione: |
Воронеж
ВГУ
2014
|
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/357419 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357419.jpg |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|