Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграц...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Книга |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online Zugang: | https://e.lanbook.com/book/382754 https://e.lanbook.com/img/cover/book/382754.jpg |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
