Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoir: | |
|---|---|
| Formáid: | Книга |
| Teanga: | Russian |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|