Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: ти...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 语言: | Russian |
| 出版: |
Санкт-Петербург
Лань
2024
|
| 主题: | |
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/400850 https://e.lanbook.com/img/cover/book/400850.jpg |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|