Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
مؤلفون آخرون: | |
التنسيق: | Книга |
اللغة: | Russian |
منشور في: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
الوصول للمادة أونلاين: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|