Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
Guardat en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Format: | Книга |
| Idioma: | Russian |
| Publicat: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| Accés en línia: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|