Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|