Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| מחברים אחרים: | |
| פורמט: | Книга |
| שפה: | Russian |
| יצא לאור: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| גישה מקוונת: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|