Диэлектрические пленки для ИС
В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | |
| フォーマット: | Книга |
| 言語: | Russian |
| 出版事項: |
Махачкала
ДГТУ
2021
|
| オンライン･アクセス: | https://e.lanbook.com/book/404174 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|