Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем учебное пособие
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производств...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Новосибирск
НГТУ
2023
|
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/404429 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404429.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|