Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Книга |
| 語言: | Russian |
| 出版: |
Казань
КНИТУ
2022
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|