Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магист...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Казань
КНИТУ
2022
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02361nam0a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 412304 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20240527124716.0 | ||
| 008 | 240527s2022 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7882-3285-0 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.793.7(075) | ||
| 084 | |a 30.61–5я7 |2 rubbk | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Плазменное оборудование для нанотехнологий |b учебное пособие |c Гребенщикова М. М.,Миронов М. М. |
| 260 | |a Казань |b КНИТУ |c 2022 | ||
| 300 | |a 96 с. | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высоко- молекулярных материалов. | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции КНИТУ - Нанотехнологии | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 653 | 0 | |a металообработка | |
| 653 | 0 | |a обработка металлов | |
| 653 | 0 | |a металлообработка | |
| 653 | 0 | |a машиностроение | |
| 653 | 0 | |a плазма | |
| 653 | 0 | |a плазменное оборудоване | |
| 653 | 0 | |a наноструктурированные покрытия | |
| 100 | 1 | |a Гребенщикова М. М. | |
| 700 | 1 | |a Миронов М. М. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/412304 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg | ||