Процессы микро- и нанотехнологий метод. пособие к курсу лекций
Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Уфа
БГПУ имени М. Акмуллы
2012
|
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|