Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Format: | Книга |
| Sprog: | Russian |
| Udgivet: |
Рязань
РГРТУ
2023
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|