Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Рязань
РГРТУ
2023
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|