Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Книга |
| Jazyk: | Russian |
| Vydáno: |
Рязань
РГРТУ
2023
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Shrnutí: | Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических методах, технологиях создания структур на биполярных и полевых транзисторах. Предназначено для аудиторной и самостоятельной работы студентов дневного отделения направлений 11.03.04, изучающих дисциплину «Технология изделий микро- и наноэлектроники», и 11.03.01, изучающих дисциплину «Техника и технологии полупроводников». |
|---|---|
| Popis jednotky: | Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» И 11.03.01 «Радиотехника» (уровень – бакалавриат) |
| Fyzický popis: | 160 с. |
| Uživatelské určení: | Книга из коллекции РГРТУ - Инженерно-технические науки СЭБ |
| Bibliografie: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |
| ISBN: | 978-5-7722-0389-7 |