Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Опубликовано: |
Рязань
РГРТУ
2023
|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03548nam0a2200445 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 439736 | ||
| 003 | RuSpLAN | ||
| 005 | 20250516154023.0 | ||
| 008 | 250516s2023 ru gs 000 0 rus | ||
| 020 | |a 978-5-7722-0389-7 | ||
| 040 | |a RuSpLAN | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a ru | ||
| 080 | |a 621.382 | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Технология изделий микроэлектроники |b учебное пособие |c Рыбин Н. Б.,Рыбина Н. В. |
| 260 | |a Рязань |b РГРТУ |c 2023 | ||
| 300 | |a 160 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» И 11.03.01 «Радиотехника» (уровень – бакалавриат) | ||
| 504 | |a Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань | ||
| 520 | 8 | |a Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических методах, технологиях создания структур на биполярных и полевых транзисторах. Предназначено для аудиторной и самостоятельной работы студентов дневного отделения направлений 11.03.04, изучающих дисциплину «Технология изделий микро- и наноэлектроники», и 11.03.01, изучающих дисциплину «Техника и технологии полупроводников». | |
| 521 | 8 | |a Книга из коллекции РГРТУ - Инженерно-технические науки | |
| 521 | 8 | |a СЭБ | |
| 653 | 0 | |a микроэлектроники | |
| 653 | 0 | |a полупроводниковые материалы | |
| 653 | 0 | |a технология полупроводниковых кристаллов | |
| 653 | 0 | |a дефекты | |
| 653 | 0 | |a получение поликристаллического кремния | |
| 653 | 0 | |a выращивание кристаллов | |
| 653 | 0 | |a легирование | |
| 653 | 0 | |a изготовление полупроводниковых пластин | |
| 653 | 0 | |a эпитаксия | |
| 653 | 0 | |a тонкие пленки | |
| 653 | 0 | |a литографические методы | |
| 653 | 0 | |a интегральные микросхемы | |
| 653 | 0 | |a монтаж полупроводниковых приборов | |
| 100 | 1 | |a Рыбин Н. Б. | |
| 700 | 1 | |a Рыбина Н. В. | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/439736 | |
| 856 | 4 | 8 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg | ||