Технология изделий микроэлектроники учебное пособие
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических...
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | |
| Formato: | Книга |
| Lenguaje: | Russian |
| Publicado: |
Рязань
РГРТУ
2023
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|