Теоретические основы автоматизированного управления
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-луч...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
ТУСУР
2001
|
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4958 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ. |
|---|---|
| Physical Description: | 338 с. |
| Audience: | Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Bibliography: | Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань |