Теоретические основы автоматизированного управления
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-луч...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
ТУСУР
2001
|
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4958 https://e.lanbook.com/img/cover/book/4958.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|