Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Воронов Ю. А. |
---|---|
Andre forfattere: | Касков С. Ю., Мочалкина О. Р. |
Format: | Книга |
Sprog: | Russian |
Udgivet: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
Online adgang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Исследование оптических свойств наноразмерных структур в жидкости
af: Грехов А. М.
Udgivet: (2014) -
Термодинамика наноразмерных систем
af: Тарасевич Ю. Г. -
Синтез наноразмерных структур на основе германия в матрице пористого оксида алюминия Статья
af: Чукавин А.И -
Кристаллохимия наноразмерных объектов учебное пособие
af: Кузьмичева Г. М.
Udgivet: (2020) -
Неразрушающий контроль в производстве и испытаниях кремниевых фотоэлектрических модулей монография
af: Юрченко А. В.
Udgivet: (2012)