Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , |
| Format: | Книга |
| Jezik: | Russian |
| Izdano: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online dostop: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
