Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , |
| Формат: | Книга |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Онлайн доступ: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
