Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Andere auteurs: | , |
Formaat: | Книга |
Taal: | Russian |
Gepubliceerd in: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
Online toegang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|