Моделирование технологии и параметров кремниевых наноразмерных транзисторных структур учебное пособие для вузов
Составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплине «Наноэлектронная технология». Изложены основные темы учебного материала, входящего в лекционный курс. А именно: рассмотрены вопросы математического моделирования процессов ионного внедрения примесей в кремний с испо...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
其他作者: | , |
格式: | Книга |
語言: | Russian |
出版: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
在線閱讀: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75726 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75726.jpg |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|