Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, д...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Книга |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|