Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, д...
Enregistré dans:
Auteur principal: | |
---|---|
Autres auteurs: | , |
Format: | Книга |
Langue: | Russian |
Publié: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
Accès en ligne: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|