Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | ВКР |
| Langue: | Russian |
| Publié: |
2018
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| Accès en ligne: | https://dspace.ncfu.ru:443/handle/20.500.12258/1879 |
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