Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online Access: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|