Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
Сохранить в:
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | Учебное пособие |
Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|