Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Учебное пособие |
| Online dostop: | https://znanium.com/catalog/document?id=357394 https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|