Перейти до змісту

Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие

В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Светличный А.М
Формат: Учебное пособие
Онлайн доступ:https://znanium.com/catalog/document?id=357394
https://znanium.com/cover/1088/1088101.jpg
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!