Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Онлайн доступ: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| ISBN: | 978-5-7782-3915-9 |
|---|