Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...

Fuld beskrivelse

Сохранить в:

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Васильев В.Ю
Format:	Учебное пособие
Online adgang:	https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

Lignende værker

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Васильев В. Ю.
Udgivet: (2019)

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Васильев, В. Ю.

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
af: Антоненко С. В.
Udgivet: (2008)

Технология тонких пленок: практикум
af: Никулин Д. М.
Udgivet: (2023)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
af: Твердохлеб П.В

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
af: Твердохлеб П. Е.
Udgivet: (2019)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
af: Твердохлеб, П. Е.

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
af: Берлин, Б. В.

Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Брусенцов, Ю. А.

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
af: Васильев В. Ю.
Udgivet: (2021)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
af: Ершов А. В.
Udgivet: (2020)

Современные проблемы микро - и наноэлектроники Учебное пособие
af: Шелованова Г.Н

Современные проблемы микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Шелованова, Г. Н.

Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
af: Патрушева Т. Н.
Udgivet: (2021)

Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
af: Патрушева Т.Н

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие

Особенности испарения и кристаллизации тонких пленок магнитных коллоидов
af: Халуповская, Л. И.
Udgivet: (2021)

Физические основы микро - и наноэлектроники: Методические указания
Udgivet: (2020)

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники Учебное пособие Учебное пособие
af: Величко А.А

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
Udgivet: (2019)

Физические основы микро- и наноэлектроники учебно-методическое пособие по практической и самостоятельной работе
Udgivet: (2023)

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
af: Гаврилов А.С

Получение тонких пленок карбида кремния и их структурный анализ
af: Чурашев, Д. И.
Udgivet: (2018)

Получение тонких пленок карбида кремния и их структурный анализ
af: Чурашев, Д. И.
Udgivet: (2018)

Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники учебное пособие

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
af: Васильев В. Ю.
Udgivet: (2024)

Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
af: Никифоров И.К

Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Никифоров, И. К.

Получение и исследование оптических свойств тонких пленок оксида цинка, легированного церием
af: Маковская, Е. С.
Udgivet: (2018)

Получение и исследование оптических свойств тонких пленок оксида цинка, легированного церием
af: Маковская, Е. С.
Udgivet: (2018)

Решение обратных задач в рамках математической модели роста тонких плёнок на подложках
af: Тарасенко, Е. О.
Udgivet: (2020)

Электрофизические и оптические свойства тонких пленок ZnSe в различных структурных состояниях Статья
af: Валеев Р.Г

Приборно-технологическое моделирование устройств микро-и наноэлектроники. Математические модели и программные средства
af: Левицкий А. А.
Udgivet: (2020)

Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства Учебное пособие
af: Левицкий А.А

Широкополосные высокостабильные терагерцовые смесители на горячих электронах из тонких сверхпроводниковых пленок NbN монография

Получение методом ионно-лучевого осаждения и исследование свойств тонких пленок нитрида алюминия на лейкосапфире
af: Никулин, Д. А.
Udgivet: (2019)

Физические основы наноэлектроники учебное пособие
af: Филиппов В. В.
Udgivet: (2018)

Специальные главы наноэлектроники Учебное пособие
af: Драгунов В.П

Технология тонких пленок
af: Майссел Л., и др.