Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Васильев В.Ю |
---|---|
Formáid: | Учебное пособие |
Rochtain ar líne: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
de réir: Васильев В. Ю.
Foilsithe / Cruthaithe: (2019) -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
de réir: Васильев, В. Ю. -
Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
de réir: Антоненко С. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2008) -
Технология тонких пленок: практикум
de réir: Никулин Д. М.
Foilsithe / Cruthaithe: (2023) -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
de réir: Твердохлеб П.В