Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | Васильев В.Ю |
---|---|
स्वरूप: | Учебное пособие |
ऑनलाइन पहुंच: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Васильев В. Ю.
प्रकाशित: (2019) -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Васильев, В. Ю. -
Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
द्वारा: Антоненко С. В.
प्रकाशित: (2008) -
Технология тонких пленок: практикум
द्वारा: Никулин Д. М.
प्रकाशित: (2023) -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
द्वारा: Твердохлеб П.В