Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Учебное пособие |
| Online-ссылка: | https://znanium.com/catalog/document?id=397452 https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
