Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Wedi'i Gadw mewn:
Prif Awdur: | |
---|---|
Fformat: | Учебное пособие |
Mynediad Ar-lein: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|