Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процес...
Guardado en:
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Учебное пособие |
Acceso en línea: | https://znanium.com/catalog/document?id=417174 https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg |
Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|